如何保證真空滅弧室的氣密性
本文作者:大禹漢光 發(fā)布時間:2015-10-23
真空氣密性是影響真空滅弧室的性能及樹木的主要因素之一,因此真空撿漏是真空滅弧室制造工藝中可靠性保障的重要工序。電真空器件的結(jié)構(gòu)特點及測量精度要求決定了氦罩法和噴吹法是電真空器件氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)中最常用方法。
氦質(zhì)譜檢測技術(shù)以其漏點漏率可量化、靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣等特點,在航空、航天、汽車和電真空行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。與其他諸多傳統(tǒng)檢漏方法相比,氦質(zhì)譜檢漏具有不可比擬的技術(shù)優(yōu)越性。氦罩法和噴吹法是電真空器件氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)中最常用的兩種方法。氦罩法是對總漏率進行測定,當(dāng)總漏率超出允許值后用噴吹法進行漏孔的準(zhǔn)確定位。
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